توضیحات:سمینار کارشناسی ارشد درس تئوری تکنولوژی نیمه هادی ها با عنوان زدایش یا لایه برداری در قالب 22 اسلاید به همراه نمای تمامی قسمت های مرحله ساخت ادوات نیمه هادی (قسمت زدایش و لایه برداری)
بخشی از متن:لایه برداری برداشت انتخابی یک ماده می باشد. ملاحظات لازم برای انتخاب یک پروسه لایه برداری خاص:
1- میزان لایه برداری: اندازه ضخامت لایه برداشته شده در واحد زمان
2- درجه انتخاب: نسبت میزان لایه برداری ماده مورد نظر نسبت به مواد دیگر
3- لایه برداری همه سویه: لایه برداری در همه جهات و به میزان برابر
4- لایه برداری یک سویه: لایه برداری خیلی زیاد در یک جهت نسبت به جهات دیگر
فهرست مطالب:لایه برداری
انتقال الگو
lift-off (بلند کردن لایه های ناخواسته)
روش خورندگی
انواع زدایش
روشهای زدایش
زدایش مرطوب (wet etching)
نکاتی درباره لایه برداری تر
زدایش خشک
پلاسما
Type of Dry Etching Technology
بررسی فیزیکی سطح وپلاسما (sputtering)
Ion Milling
Dry chemical etching mechanisms
Reaction Ion Etching
مواد استفاده شده در زدایش
مقایسه
-
راهنمای استفاده:
مناسب جهت استفاده دانشجویان رشته برق
-
محتوای فایل دانلودی:
در قالب فایل پاورپوینت و قابل ویرایش
به همراه خلاصه سمینار مرحله زدایش در قالب PDF
سجاد
یکشنبه 14 شهریور 1395 ساعت 09:22